안녕하세요. 엔지엠소프트웨어입니다. 엔지엠의 수학 또는 통계에 분산, 공분산등등은 제공하지만 표준 편차는 액션으로 제공하지 않고 있습니다. [ 분산 ]에 대해 읽어보시면 아시겠지만~ 분산에 제곱근을 하면 표준 편차를 구할 수 있기 때문입니다. 이 예제는 아래와 같이 실행하면 확인할 수 있는데요. 예제 스크립트는 첨부되어 있으니 열어서 실행 해보세요.

분산값 200에 대한 표준 편차는 14.142135623730951입니다. 아래와 같이 두번째 분산값 2를 선택하고, 실행 해보세요.

분산값이 1.4142135623730951입니다. 앞서 분산을 설명하는 글에서도 설명했듯이 분산을 표준 편차로 나타내면 변량이 평균값에서 얼마나 퍼져있는지를 알 수 있습니다. 참고로 편차(Deviation)는 값에서 평균값 또는 중앙값을 뺀 값입니다. 그렇기에 엔지엠에서 편차와 표준 편차를 제공하지 않더라도 쉽게 산포도를 확인할 수 있습니다. 물론 값으로요. 통계에서 대부분은 스케터 차트를 이용해서 시각화하여 분석합니다. 아마도 대부분은 매트랩(MATLAB)을 사용해서 데이터를 처리하고 시각화 할겁니다. 둥근 웨이퍼에 오버레이로 샘플링된 데이터를 시각화하면 이쁘게(?) 그려지지 않습니다. 그래서 매트랩의 인터폴레이션(Interpolation, 보간법)을 큐빅(쿼리 점에서 보간된 값은 각 차원의 인접 그리드 점에서 값이 3차 보간된 것입니다. 이 보간은 3차 컨벌루션을 기반으로 합니다.)으로 처리해보면 메쉬나 서피스를 쉽게 처리할 수 있습니다.

※ 오버레이 계측 장비 메이커는 대표적으로 ASML(네덜란드), KLA(미국), Auros(한국)가 있습니다.

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